Intégration hétérogène d’oxydes fonctionnels par micro-transfert printing (μTP)

Organisation/Company Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)

Research Field: Technology / Materials technology

Researcher Profile: Recognised Researcher (R2), Leading Researcher (R4), First Stage Researcher (R1), Established Researcher (R3)

Application Deadline: 11 Jun 2026 - 22:00 (UTC)

Country: France

Type of Contract: Temporary Job

Job Status: Full-time

Offer Starting Date: 1 Oct 2026

Is the job funded through the EU Research Framework Programme? No

Is the Job related to staff position within a Research Infrastructure? No

Offer Description

CONTEXT

Le micro transfert printing (μTP) est une technique de micro-assemblage émergente qui permet de transférer des microstructures (semi-conducteurs, composants optoélectroniques, circuits passifs, etc.) d’un substrat donneur vers un substrat receveur, avec une grande précision spatiale. Cette technologie est particulièrement bien adaptée à l’intégration hétérogène, c’est‑à‑dire à l’assemblage de matériaux ou de composants très différents sur un même support (1). Une des caractéristiques de la technologie repose sur la préparation du substrat source et notamment de la couche sacrificielle qui permet de libérer le composant à transférer. Les oxydes fonctionnels, oxydes cristallins de métaux de transition aux nombreuses propriétés remarquables (ferroélectriques, piézoélectriques, ferromagnétiques, électro‑optiques, thermoélectriques…) permettent d’adresser de nombreuses applications clefs (mémoires non volatiles basse consommation, modulateurs électro‑optiques ultra-rapides, capteurs ultra-sensibles, actuateurs, refroidisseurs, générateurs…). Cependant, un déploiement de dispositifs d’oxydes fonctionnels sur des plateformes technologiques industrielles reste limité à cause de certains verrous. La plupart des dispositifs adressant ces applications nécessitent d’une part des couches minces épitaxiées (contrôle de l’orientation cristalline, souvent sur des substrats monocristallins particuliers qui ne sont pas compatibles avec une production à l’échelle industrielle), et d’autre part des couches minces micro/nano‑structurées (circuits photoniques, électroniques, thermoélectriques…). Afin de dépasser les verrous actuels, une des pistes prometteuses à étudier est d’utiliser des couches épitaxiées d’oxydes sacrificiels solubles dans l’eau (2‑6) qui permettraient, par micro‑transfert printing (μTP), le détachement/report de micro/nano‑structures d’oxydes fonctionnels sur un substrat technologique de choix. Ainsi, des dispositifs avancés à base d’oxydes fonctionnels pourraient être fabriqués. Cette thèse a pour ambition de développer les premières briques pour ouvrir cette voie innovante.

OBJECTIFS

1. Elaboration par MBE de couches épitaxiées d’oxydes sacrificiels solubles à l’eau (e.g. SrO)
2. Reprise de croissance épitaxiale d’oxydes fonctionnels de structure pérovskite (e.g. BaTiO3)
3. Détachement et report par micro‑transfert printing (μTP) sur SOI ou SiO2/Si
4. Fabrication de micro‑dispositifs d’oxydes fonctionnels intégrés

SAVOIR‑FAIRE INL

• Croissance épitaxiale par MBE de SrO sur SrTiO3(001) (7)
• Croissance épitaxiale par MBE de BaTiO3 ferroélectrique (8)
• Croissance épitaxiale par MBE de Sr1‑xLaxTiO3 thermoélectrique (9)
• Détachement et report par μTP de lasers à cascade sur Si (10)

Additional Information

Work Location(s)

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Company/Institute Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)

Country France

City Lyon