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Ingénieur Gestion de la Contamination Moléculaire en Salle Blanche H/F

RHÔNE-ALPES
il y a 20 jours
Notre contexte L'évolution de la salle blanche au CEA-Leti a amené à l'utilisation d'une nouvelle génération de Front-Opening Unified Pod (FOUP), containers permettant de traiter les plaquettes de silicium 300 mm sur les équipements. Ces FOUPs purgeables, vont être utilisés sur la ligne pilote FAMES au CEA-Leti et vont permettre de relâcher les contraintes d'enchainements entre les opérations (Qtime). Les paramètres optimums pour le stockage des plaques seront à définir, à tester et à analyser pour déterminer leurs impacts sur nos lignes de production et produits. Nous rejoindre pourquoi faire? Vous serez intégré(e) à une équipe de recherche et de développement au sein du LLAM, ayant pour but de comprendre les vecteurs de dissémination de la contamination dans les salles blanches et ses impacts sur les dispositifs microélectroniques au CEA-Leti
Vous aurez pour mission de :
  • Mener des études sur la contamination croisée dans un FOUP purgé
  • Obtenir des conditions optimales pour le stockage des plaques en fonction des différentes étapes de process, notamment la lithographie, la gravure, le dépôt de couche mince, le collage, etc.
  • Créer un protocole de stockage des plaques dans des FOUP purgés pour limiter la contamination croisée entre plaques et relâcher les contraintes d'enchainement entre 2 étapes de process
  • Développer un système innovant de dégazage des plaques 300 mm avec un contrôle de température pour étudier les contaminants volatils
  • Mettre en place des mesures expérimentales et analyser les résultats obtenus
  • Analyser les données de contamination métallique, particulaire, organique et ionique sur des plaques de 300 mm Vous valoriserez les résultats obtenus via des participations à des conférences internationales, la rédaction d'articles et le dépôt de brevets. #CEA-Leti ; #Contamination ; #FAMES ; #Chimie analytique ; #microelectronique ; #FOUP purgé #Ingénieure ; #Engineer ; #Recherche ; #Research
Entreprise
CEA
Plateforme de publication
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