Comment la nucléation des défauts impact la fracture dans le transfert de couches par SmartCut

Description du sujet de thèse

Le procédé SmartCutTM est largement utilisé dans la fabrication de substrats innovants pour la microélectronique, comme par exemple le SOI (Silicon-on-Insulator). Les phénomènes physiques à la base de ce procédé, sont encore au cœur de nos recherches. L'optimisation de l'étape de fracture est un sujet majeur dans notre laboratoire et dans notre collaboration avec Soitec. Dans la thèse de G. Salomon (fin prévue en décembre 2026), le développement de protocoles d'analyses de la surface post fracture, ont mis en évidence le lien entre l'évolution de défauts lacunaires à l'origine de la fracture (platelets) et la rugosité post fracture. Nous avons ainsi pu caractériser les premiers stades de la croissance des platelets et ainsi déterminer leurs caractéristiques principales (taille et densité). Ce qui n'avait été réalisé jusque là qu'à travers des caractérisations complexes basées sur des observations TEM.

Domaine

Défis technologiques

Sujets de thèse

Comment la nucléation des défauts impact la fracture dans le transfert de couches par SmartCut

Contrat

Thèse

Université / école doctorale

Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)

Université Grenoble Alpes

Site

Grenoble

Formation recommandée

Master 2 / Ingénieur

Disponibilité du poste

01/10/2026

Personne à contacter par le candidat

ACOSTA ALBA Pablo CEADRT/DTSI/SSURFCEA GrenobleDRT/LETI/DTSI/SSURF / LSJ

17 rue des Martyrs38054 Grenoble CEDEX 09

Tuteur / Responsable de thèse

RIEUTORD François SOITEC

Parc Technologique des FontainesChemin des Franques38190 Bernin (France)